スピンコーター（塗布機） 製品案内
スピンコーター塗布機.com（ミカサ）の製品は、ACサーボモータを使用しているためブラシレスであることから、クリーンルームでのコンタミネーションに優れ、モーターの発熱を低減することで連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も受け難くなります。
| ＜最大対応サイズ＞ | ＜最大対応サイズ＞ | |||||
| ４インチ ６インチ ８インチ １２インチ |
●MS-B100 ●MS-B150 ●MS-B200 ●MS-B300 |
100×100mm 150×150mm |
●MS-B200（密閉型） ●MS-B300（密閉型） |
●試料台（標準） ●試料台（特注） |
||
スピンコーター（塗布機）
≪スピンコーターMS-Bシリーズ比較表≫
| 機種 | 最大基板サイズ | 回転数 (rpm) |
滴下装置 | 電源 | 外形寸法(mm) ＜W×H×D＞ |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
| ＜ウエハー＞ | ＜基板（mm）＞ | |||||
| MS-B100 | φ4インチ | 75×75 | 20～8,000 | 取付不可 | AC100～240V 5A | 259×246×330 |
| MS-B150 | φ6インチ | 100×100 | 20～7,000 | オプション | 352×303×432 | |
| MS-B200 | φ8インチ | 150×150 | 20～5,000 | 500×335×583 | ||
| MS-B300 | φ12インチ | 200×200 | 20～5,000 | AC200～240V 単層 5A | 545×432×654 | |
| MS-B200密閉型 | ー | 100×100 | 20～3,000 | 取付不可 | AC100～240V 5A | 540×460×630 |
| MS-B300密閉型 | ー | 150×150 | 20～3,000 | オプション | AC200～240V 単層 5A | 570×590×650 |
スピンコーター MS-B100[φ4インチウエハー・75×75mm基板対応モデル]
| 最大基板サイズ | φ4インチウエハー 又は75×75mm基板 |
|---|---|
| 回転数(rpm) | 20～8,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
スピンコーター MS-B150[φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル]
| 最大基板サイズ | φ6インチウエハー 又は100×100mm基板 |
|---|---|
| 回転数(rpm) | 20～7,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
技術資料（各種動画）
スピンコーター成膜処理動画
スピンコーター用レジスト滴下装置 滴下動画
スピンコーター用滴下・エッジ・バックリンス動画
スピンコーターエッジ・バックリンス動画
スピンコーター MS-B200[φ8インチウエハー・150×150mm基板対応モデル]
| 最大基板サイズ | φ8インチウエハー 又は150×150mm基板 |
|---|---|
| 回転数(rpm) | 20～5,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
スピンコーター MS-B300[φ12インチウエハー・200×200mm基板対応モデル]
| 最大基板サイズ | MAXφ12インチ 又は200×200mm基板 |
|---|---|
| 回転数(rpm) | 20～5,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
スピンコーター MS-B200密閉型[密閉式小型角基板専用モデル]
| 最大基板サイズ | 100×100mm基板 |
|---|---|
| 回転数(rpm) | 20～3,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
スピンコーター MS-B300密閉型[密閉式大型角基板専用モデル]
| 最大基板サイズ | 150×150mm基板 |
|---|---|
| 回転数(rpm) | 20～3,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
試料台
技術資料
技術資料（成膜データ）
